ION MILLING SOURCE WITH SLOT EXTRACTION SYSTEM

被引：2

作者：

RANGELOW, IW

RADZIMSKI, Z

CZARCZYNSKI, W

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1983年 / 1卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572104

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：244 / 247

页数：4

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[2]

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[3]

KING HI, 1966, 5TH EL PROP C SAN DI

[4]

ZDANOWSKI J, 1978, JONOWE TRAWIENIE POW

[5]

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