STABILIZED ZIRCONIA ALUMINA THIN-FILMS

被引:17
作者
GILMORE, CM [1 ]
QUINN, C [1 ]
SKELTON, EF [1 ]
GOSSETT, CR [1 ]
QADRI, SB [1 ]
机构
[1] USN,RES LAB,DIV CONDENSED MATTER & RADIAT SCI,WASHINGTON,DC 20375
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.573733
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:2598 / 2600
页数:3
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