RESISTOR NETWORK SIMULATION METHOD FOR A VACUUM-SYSTEM IN A MOLECULAR-FLOW REGION

被引：13

作者：

OHTA, S

YOSHIMURA, N

HIRANO, H

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1983年 / 1卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572317

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：84 / 89

页数：6

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共 2 条

[1]

OHTA S, 1963, 4TH ANN M VAC SOC JA

[2]

YOSHIMURA N, 1970, J VAC SOC JAP, V13, P23