AN ULTRAHIGH-VACUUM COMPATIBLE GIMBLED INSPECTION MIRROR AND CERAMIC SCRAPER FOR THE VACUUM GENERATORS ESCALAB

被引：4

作者：

JAYNE, D

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1990年 / 8卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.577049

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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