COCR THIN-FILM PREPARED BY MAGNETRON COSPUTTERING

被引:6
作者
HONG, M
VANDOVER, RB
VANDENBERG, JM
BACON, DD
机构
关键词
D O I
10.1016/0304-8853(86)90935-2
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:1585 / 1587
页数:3
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