ULTRASONIC LINEAR MOTORS USING A MULTILAYERED PIEZOELECTRIC ACTUATOR

被引:25
作者
UCHINO, K
KATO, K
TOHDA, M
机构
关键词
D O I
10.1080/00150198808201395
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页数:4
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共 4 条
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