C-AXIS ORIENTATION OF CO-CR THIN-FILMS BY FACING TARGETS SPUTTERING

被引：7

作者：

NIIMURA, Y

NAKAGAWA, S

NAOE, M

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS | 1986年 / 22卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1109/TMAG.1986.1064343

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：1164 / 1166

页数：3

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