THIN CVD LAYERS OF CARBON-DOPED SILICON-NITRIDE ON QUARTZ GLASS

被引:14
作者
KWATERA, A
机构
关键词
D O I
10.1016/0272-8842(89)90016-3
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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