CVD IN STAGNATION POINT FLOW - AN EVALUATION OF THE CLASSICAL 1D-TREATMENT

被引:132
作者
HOUTMAN, C [1 ]
GRAVES, DB [1 ]
JENSEN, KF [1 ]
机构
[1] UNIV MINNESOTA,DEPT CHEM ENGN & MAT SCI,MINNEAPOLIS,MN 55455
关键词
D O I
10.1149/1.2108777
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:961 / 970
页数:10
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