ROLE OF RADIATION-DAMAGE IN CRYSTALLIZATION KINETICS OF THIN AMORPHOUS DIELECTRIC LAYERS

被引：6

作者：

PAVLOV, PV ^{[1
]}

GENKINA, NA ^{[1
]}

SHITOVA, EV ^{[1
]}

TETELBAUM, DI ^{[1
]}

机构：

[1] GORKI PHYSICOTECH RES INST,GORKI,USSR

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1975年 / 29卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210290133

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：5