PREPARATION OF ULTRAFINE PARTICLES BY GAS EVAPORATION WITH ARC PLASMA SPUTTERING

被引：12

作者：

OYA, H ^{[1
]}

ICHIHASHI, T ^{[1
]}

WADA, N ^{[1
]}

机构：

[1] NAGOYA UNIV,FAC SCI,DEPT PHYS,NAGOYA,AICHI 464,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1982年 / 21卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.21.554

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：554 / 555

页数：2

共 7 条

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