AMERICAN-VACUUM-SOCIETY RECOMMENDED PRACTICES FOR PUMPING HAZARDOUS GASES

被引：8

作者：

OHANLON, JF ^{[1
]}

FRASER, DB ^{[1
]}

机构：

[1] INTEL CORP,SANTA CLARA,CA 95053

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575683

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1226 / 1254

页数：29

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