PARTICULATE CONTAMINATION AND MICROELECTRONICS MANUFACTURING - AN INTRODUCTION

被引：90

作者：

COOPER, DW

机构：

来源：

AEROSOL SCIENCE AND TECHNOLOGY | 1986年 / 5卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1080/02786828608959094

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

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页码：287 / 299

页数：13

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共 28 条

[1] Austin P.R., 1965, DESIGN OPERATION CLE
[2] AUSTIN PR, 1966, ENV CONTROL ELECTRON, P338
[3] BANSAL IK, 1983, J ENVIRON SCI, V26, P20
[4] BURNETT J, 1985, MICROCONTAMINATION, V3, P32
[5] CHUAN RL, 1985, SOLID STATE TECHNOL, V28, P133
[6] COOPER DW, 1985, MICROCONTAMINATION, V3, P48
[7] Dodge H. F., 1944, SAMPLING INSPECTION
[8] DONOVAN RP, 1984, MICROCONTAMINATION, V2, P39
[9] EDMARK KW, 1984, MICROCONTAMINATION, V2, P46
[10] ENSOR DS, 1985, J ENVIRON SCI, V28, P34