ION-IMPLANTATION AND THERMAL ANNEALING OF ALPHA-AL2O3 SINGLE-CRYSTALS

被引:74
作者
NARAMOTO, H
WHITE, CW
WILLIAMS, JM
MCHARGUE, CJ
HOLLAND, OW
ABRAHAM, MM
APPLETON, BR
机构
关键词
D O I
10.1063/1.332076
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:683 / 698
页数:16
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