PHYSICOCHEMICAL CHARACTERIZATION OF SPUTTERED IRIDIUM OXIDE

被引:12
作者
AURIANBLAJENI, B
BOUCHER, MM
KIMBALL, AG
ROBBLEE, LS
机构
关键词
D O I
10.1557/JMR.1989.0440
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:440 / 446
页数:7
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