DEPTH PROFILING UNIT

被引：2

作者：

WINDAWI, HM ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV DELAWARE,DEPT CHEM ENGN,NEWARK,DE 19711

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569067

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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