DIAMOND FILMS BY ION-ASSISTED DEPOSITION AT ROOM-TEMPERATURE

被引:24
作者
KITABATAKE, M
WASA, K
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.575255
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:1793 / 1797
页数:5
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