SB IMPLANTATION FOR BIPOLAR BURIED LAYERS USING SBF5 IN A COLD-CATHODE IMPLANTATION SYSTEM

被引：1

作者：

OLESZEK, GM

METZGER, D

KASLEY, KL

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1985年 / 6卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(85)90662-7

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：389 / 393

页数：5

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共 1 条

[1]

GILLIARD, 1980, RAD EFF, V47, P131