INTEGRATED-CIRCUIT PRODUCTION WITH ELECTRON-BEAMS

被引：9

作者：

LIVESAY, WR ^{[1
]}

机构：

[1] RADIANT ENERGY SYST,NEWBURY PK,CA 91320

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318459

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1028 / 1032

页数：5

共 10 条

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