FINITE-ELEMENT ANALYSIS OF PZT TUBE SCANNER MOTION FOR SCANNING TUNNELLING MICROSCOPY

被引：36

作者：

CARR, RG

机构：

来源：

JOURNAL OF MICROSCOPY-OXFORD | 1988年 / 152卷

关键词：

D O I：

10.1111/j.1365-2818.1988.tb01399.x

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：379 / 385

页数：7

共 8 条

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