LOW RESISTIVITY CDS(IN) FILMS PREPARED BY SPRAY PYROLYSIS

被引：6

作者：

UEKITA, M

NELSON, KF

BATES, CW

MOONEY, JB

RECKTENWALD, JM

机构：

[1] STANFORD UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,STANFORD,CA 94305

[2] SRI INT,MENLO PK,CA 94025

来源：

THIN SOLID FILMS | 1982年 / 88卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(82)90057-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：275 / 278

页数：4

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共 7 条

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