AUTOMATED FOUCAULT TEST FOR FOCUS SENSING

被引：4

作者：

KOCHER, DG

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1983年 / 22卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.22.001887

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1887 / 1892

页数：6

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