DC CATHODE SPUTTERING - INFLUENCE OF OXYGEN-CONTENT IN GAS-FLOW ON DISCHARGE CURRENT

被引：24

作者：

GORANCHEV, B ^{[1
]}

ORLINOV, V ^{[1
]}

POPOVA, V ^{[1
]}

机构：

[1] BULGARIAN ACAD SCI,INST ELECTR,SOFIA 1113,BULGARIA

来源：

THIN SOLID FILMS | 1976年 / 33卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90078-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：173 / 183

页数：11

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共 17 条

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