THE INDUCTIVELY COUPLED RF (RADIO-FREQUENCY) PLASMA

被引：189

作者：

BOULOS, MI

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1351/pac198557091321

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

引用

页码：1321 / 1352

页数：32

共 93 条

HOLLABAUGH, CM ;

HULL, DE ;

NEWKIRK, LR ;

PETROVIC, JJ .

[52]

HUGHES DW, 1967, PHYS LETT A, V42

[53]

JOHNSON DL, 1982, MAT SCI MONOGRAPHS, V14, P573

[54]

JOHNSTON PD, 1968, BRIT J APPL PHYS, V1, P479

[55]

JUREWICZ J, 1985, 7 ISPC EINDH

[56]

Keefer D. R., 1973, IEEE Transactions on Plasma Science, VPS-1, P71, DOI 10.1109/TPS.1973.4316116

[57]

KIM JS, 1983, CERAMIC B, V62, P620

KLEINMANN, I ;

CAJKO, J .

[59]

Klubnikin V. S., 1975, TEPLOFIZ VYS TEMP, V13, P473

[60]

KLUBNIKIN VS, 1975, HIGH TEMP+, V13, P439