THE INDUCTIVELY COUPLED RF (RADIO-FREQUENCY) PLASMA

被引：189

作者：

BOULOS, MI

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1351/pac198557091321

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

引用

页码：1321 / 1352

页数：32

共 93 条

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