A COMPUTER-OPERATED FOLLOWING ELLIPSOMETER

被引：40

作者：

ORD, JL

WILLS, BL

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1967年 / 6卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.6.001673

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：1673 / &

相关论文

共 5 条

[1]

MCCRACKIN FC, 1964, NBS242 TECH NOT

[2]

MCCRACKIN FL, 1963, J RES NATL BUR STD U, VA 67, P363

ORD, JL ;

DESMET, DJ .

[4]

REDDY AKN, 1964, NBS256 MISC PUBL, P229

TAKASAKI, H .

APPLIED OPTICS, 1966, 5 (05) :759-&