EXCIMER-LASER CRYSTALLIZED POLY-SI TFTS WITH MOBILITY OF MORE THAN 600 CM2/VS

被引：4

作者：

CHOI, DH ^{[1
]}

SADAYUKI, E ^{[1
]}

SUGIURA, O ^{[1
]}

MATSUMURA, M ^{[1
]}

机构：

[1] TOKYO INST TECHNOL,DEPT PHYS ELECTR,TOKYO 152,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/16.239809

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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