THERMAL-SHOCK RESISTANCE OF SILICON-NITRIDE

被引：11

作者：

ANZAI, K ^{[1
]}

HASHIMOTO, H ^{[1
]}

机构：

[1] TOKYO SHIBAURA ELECT CO LTD,TOSHIBA RES & DEV CTR,KAWASAKI,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF00552260

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：2351 / 2353

页数：3

共 12 条

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