RESIDUAL-STRESS AND THERMAL-EXPANSION COEFFICIENT OF PLASMA POLYMERIZED FILMS

被引：30

作者：

MORINAKA, A

ASANO, Y

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/app.1982.070270625

中图分类号：

O63 [高分子化学（高聚物）];

学科分类号：

070305 ; 080501 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：2139 / 2150

页数：12

共 14 条

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