IMPROVEMENT OF RI AUGER-ELECTRON THICKNESS GAUGE FOR MEASUREMENT OF THIN METAL-FILMS

被引：5

作者：

ISHIGURE, N ^{[1
]}

MORI, C ^{[1
]}

WATANABE, T ^{[1
]}

机构：

[1] NAGOYA UNIV,FAC ENGN,DEPT NUCL ENGN,NAGOYA,JAPAN

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1976年 / 135卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(76)90060-4

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：4