DISCHARGE OF P-2+ IONS IN THE BEAMLINE OF MEDIUM CURRENT IMPLANTERS

被引:5
作者
BRACK, K
EUEN, W
HAGMANN, D
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(87)90866-4
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:405 / 409
页数:5
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共 3 条
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ION BEAM FILTER SERV