SURVEY OF LOW-TEMPERATURE RF PLASMA POLYMERIZATION AND PROCESSING

被引:44
作者
HAVENS, MR
BIOLSI, ME
MAYHAN, KG
机构
[1] UNION CARBIDE CORP, CTR TECH, S CHARLESTON, WV 25303 USA
[2] UNIV MISSOURI, CTR MAT RES, ROLLA, MO 65401 USA
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.569038
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:575 / 584
页数:10
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