ADDITIVE THIN-FILM TECHNOLOGY FOR HYBRID CIRCUIT FABRICATION

被引:2
作者
KROKOSZINSKI, HJ
OETZMANN, H
GERNOTH, H
SCHMIDT, C
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.572821
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:2704 / 2707
页数:4
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