MEASUREMENT OF THE YOUNG MODULUS FOR STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF AMORPHOUS SI-C-N-H-FILMS

被引：5

作者：

GERSTENBERG, KW

TAUBE, K

机构：

[1] PHILIPS GMBH,FORSCHUNGSLAB HAMBURG,VOGT KOLLN STR 30,D-2000 HAMBURG 54,FED REP GER

[2] UNIV HAMBURG,INST PHYS CHEM,D-2000 HAMBURG 13,FED REP GER

来源：

FRESENIUS ZEITSCHRIFT FUR ANALYTISCHE CHEMIE | 1989年 / 333卷 / 4-5期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00572312

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：313 / 314

页数：2

共 9 条

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