AN ELECTRO-OPTICAL SENSOR FOR MICRODISPLACEMENT MEASUREMENT AND CONTROL

被引：15

作者：

TANWAR, LS ^{[1
]}

KUNZMANN, H ^{[1
]}

机构：

[1] PHYS TECH BUNDESANSTALT,DIV MECH,D-3300 BRUNSWICK,FED REP GER

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1984年 / 17卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/17/10/014

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：864 / 866

页数：3

共 10 条

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