GROWTH OF HIGH-QUALITY ZNSE LAYERS IN HYDROGEN PLASMA

被引:10
作者
MATSUMOTO, T
YOSHIDA, S
ISHIDA, T
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1986年 / 25卷 / 05期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.25.L413
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L413 / L415
页数:3
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