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INEXPENSIVE AND ACCURATE 2-SIDED SEMICONDUCTOR WAFER ALIGNMENT
被引：14
作者：
WHITE, RM
[1
]
WENZEL, SW
[1
]
机构：
[1] UNIV CALIF BERKELEY,ELECTR RES INST,BERKELEY,CA 94720
来源：
SENSORS AND ACTUATORS
|
1988年
/
13卷
/
04期
关键词：
D O I：
10.1016/0250-6874(88)80051-9
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ;
081704 ;
摘要：
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页码：391 / 395
页数：5
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