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TEM OBSERVATION OF SEGREGATED MICROSTRUCTURE IN SPUTTERED CO-CR FILM
被引：49
作者：
MAEDA, Y
ASAHI, M
SEKI, M
机构：
[1] NTT, Tokai, Jpn, NTT, Tokai, Jpn
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
08期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L668
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
14
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页码：L668 / L670
页数：3
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