PULSED ANNEALING OF SEMICONDUCTORS BY MICROWAVE-ENERGY

被引：6

作者：

CHENEVIER, P

COHEN, J

KAMARINOS, G

机构：

来源：

JOURNAL DE PHYSIQUE LETTRES | 1982年 / 43卷 / 08期

关键词：

Compendex;

D O I：

10.1051/jphyslet:01982004308029100

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

SEMICONDUCTOR MATERIALS

引用

页码：L291 / L294

页数：4

共 9 条

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[No title captured]