共 2 条
INTERNAL-STRESS OF THIN SILVER, COPPER, GOLD AND CHROMIUM FILMS - A COMPARISON
被引:18
作者:
ABERMANN, R
[1
]
KOCH, R
[1
]
MARTINZ, HP
[1
]
机构:
[1] UNIV INNSBRUCK, INST PHYS CHEM, A-6020 INNSBRUCK, AUSTRIA
来源:
关键词:
D O I:
10.1016/0042-207X(83)90643-7
中图分类号:
T [工业技术];
学科分类号:
08 ;
摘要:
引用
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页数:3
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