MONTE-CARLO SIMULATION OF A THIN-FILM OF UNIFORM THICKNESS DEPOSITION IN A STATIONARY SYSTEM

被引：1

作者：

PEIXOTO, LT ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV FED ESPIRITO SANTO,DEPT FIS & QUIM,BR-29000 VITORIA,ES,BRAZIL

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.334424

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1910 / 1914

页数：5

共 8 条

[1]

BEHRNDT KH, 1960, 6TH AVS VAC S T, P242

[2]

CASTRO UL, 1976, THESIS U BRASILIA BR

[3]

DAVIS DH, 1960, J APPL PHYS, V32, P1169

[4]

FORSYTHE GE, 1977, COMPUTER METHODS MAT, P246

[5]

HOLLAND L, 1970, VACUUM DEPOSITION TH, P145

[6]

SCHWARZ H, 1974, JPN J APPL PHYS 1 S, V2, P471

SMITH, CG ;

LEWIN, G .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1966, 3 (03) :92-&

[8]

YOUNG HD, 1962, STATISTICAL TREATMEN, P163