LOW-TEMPERATURE DEPOSITION AND PROPERTIES OF SUPERCONDUCTING NBN BY REACTIVE DC MAGNETRON SPUTTERING

被引：1

作者：

BACON, DD

ENGLISH, AT

NAKAHARA, S

PETERS, FG

SCHREIBER, H

SINCLAIR, WR

VANDOVER, RB

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1983年 / 1卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572137

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 [材料科学与工程]; 080502 [材料学];

摘要：

引用

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页数：2