CONDITIONS FOR ROUTINE PREPARATION OF TANTALUM-ALUMINUM FILMS

被引：9

作者：

DUCKWORTH, RG ^{[1
]}

机构：

[1] ULTRA ELECTR LTD,CONTROL & INSTR DIV,ACTON,LONDON W3 ORT,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(75)90168-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：77 / 98

页数：22

共 15 条

[1] TANTALUM THIN-FILM RESISTORS [J].

DUCKWORTH, RG .

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