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MONITORING OF SIMOX LAYER PROPERTIES AND IMPLANTATION TEMPERATURE BY OPTICAL MEASUREMENTS
被引：19
作者：
HARBEKE, G
STEIGMEIER, EF
HEMMENT, P
REESON, KJ
JASTRZEBSKI, L
机构：
关键词：
D O I：
10.1088/0268-1242/2/10/011
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
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页数：4
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