LOW-TEMPERATURE EPITAXIAL-GROWTH OF HIGHLY-CONDUCTIVE ZNSE LAYERS IN MIXED PLASMA OF HYDROGEN AND HYDROGEN-CHLORIDE

被引:8
作者
YAMAUCHI, S
HARIU, T
MATSUSHITA, K
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1987年 / 26卷 / 06期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.26.L893
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L893 / L895
页数:3
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