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LOW-TEMPERATURE EPITAXIAL-GROWTH OF HIGHLY-CONDUCTIVE ZNSE LAYERS IN MIXED PLASMA OF HYDROGEN AND HYDROGEN-CHLORIDE
被引:8
作者
:
YAMAUCHI, S
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YAMAUCHI, S
HARIU, T
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HARIU, T
MATSUSHITA, K
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MATSUSHITA, K
机构
:
来源
:
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1987年
/ 26卷
/ 06期
关键词
:
D O I
:
10.1143/JJAP.26.L893
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:L893 / L895
页数:3
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