共 1 条
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NAKANO S, 1987, 19TH P IEEE PHOT SPE, P678
CONTROLLING HYDROGEN CONTENTS AND BOND CONFIGURATIONS FOR HIGH-QUALITY AND HIGH-RELIABILITY A-SI FILMS
被引：10
作者：
NISHIKUNI, M
HAKU, H
ISOMURA, M
OKAMOTO, S
SAYAMA, K
TAKAHAMA, T
MATSUOKA, T
TSUDA, S
NAKANO, S
OHNISHI, M
KUWANO, Y
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0022-3093(89)90106-3
中图分类号：
TQ174 [陶瓷工业];
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
引用
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页数：3
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