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REACTION-CONTROLLED CHEMICAL GAS-PHASE DEPOSITION OF SILICON BY PYROLYSIS OF SILANE
被引：3
作者：
KUHNE, H
机构：
关键词：
D O I：
10.1002/cite.330640330
中图分类号：
TQ [化学工业];
学科分类号：
0817 ;
摘要：
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页码：302 / 303
页数：2
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