DIELECTRIC-PROPERTIES OF DIAMONDLIKE CARBON PREPARED BY RF PLASMA DEPOSITION

被引:26
作者
LAMB, JD
WOOLLAM, JA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.334866
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:5420 / 5423
页数:4
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