TILT-INSENSITIVE FILM THICKNESS MEASUREMENT USING A DOUBLE TWIN-PATH INTERFEROMETER

被引：2

作者：

HANE, K

YONEDA, K

HATTORI, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0030-3992(85)90090-8

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：208 / 212

页数：5

共 6 条

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