ETCHING OF (1 1 1) AS SURFACES OF GAAS WITH NITRIC-ACID

被引：4

作者：

WEISS, BL ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV NEWCASTLE UPON TYNE,DEPT ELECT & ELECTR ENGN,NEWCASTLE TYNE NE1 7RU NE,NORTHUMBERLAND,ENGLAND

来源：

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE | 1976年 / 11卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00540890

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：1569 / 1571

页数：3

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共 2 条

[1] HARTNAGEL HL, 1974, J MATER SCI, V8, P1061
[2] ETCHING OF GALLIUM ARSENIDE WITH NITRIC ACID
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